Interferometrische Sensoren
Die innovativen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon setzen eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Dickenmessung. Die Sensoren ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. Der Controller verfügt ebenfalls über eine aktive Temperaturregelung. Dank der robusten Bauform kann das Interferometer auch in industriellen Umgebungen integriert werden. Durch die Sub-Nanometerauflösung wird die Erfassung kleiner Details wie z.B. Strukturen auf Halbleitern und miniaturisierten Elektronikbauteilen ermöglicht. Das Interferometer kann durch verschiedene Schnittstellen auch in viele Steuerungen und Produktionsprogramme eingebunden werden.
Messprinzip
Polychromatisches Licht (Weißlicht) wird durch eine SLED erzeugt. Das von Referenz und Messobjekt reflektierte Licht wird durch den Sensor empfangen und in den Controller geleitet. Das reflektierte Licht von Referenzobjekt und Messobjekt überlagert sich. Durch Verstärkung und Auslöschung können Abstände und Dicken detektiert werden. Damit können sowohl diffuse als auch spiegelnde Oberflächen erfasst werden. Bei transparenten Schicht-Materialien kann neben der Wegmessung eine direkte Dickenmessung erfolgen.
